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防逆火
其主要設計在於當偵測點（Scrubber Inlet Port）發現溫度異常時，進行大量N2 Purge，以降低溫度，維持壓力等方式，防止管路溫度過高，避免引發氣體燃燒或其他反應，確保製程及廠務安全.