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首頁>商品介紹>Wet-Burn-Wet>ECS-3000BW
ECS-3000BW
|
Scrubber Model |
ECS-3000BW |
|
Abatement Type |
Burn-Wet scrubbing |
|
System Controller |
PLC with touch panel |
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Working Temp. (Degree C) |
1200 (Max up to 1400) |
|
Total Flow Rate
|
3000 L/Min |
|
Dimension L*W*H (mm) |
1500*1700*2000mm |
|
Weight (Kg) |
850Kg |
|
Inlet Port (Quantity) |
Std 8 |
水洗+燃燒+水洗Wet Burning Wet:
Application:應用於太陽能電池、半導體行業，主要用於PECVD、刻蝕機等的尾氣處理
Advantages:
採用電熱燃燒方式，有毒氣體等與空氣燃燒反應生成無毒的物質及易溶於水的物質，排放物為無毒無害的氣體
處理能力：100LPM~3000LPM
多孔性材質陶瓷隔熱材：減少反應腔體熱量損失，加強腔體抗腐蝕。
水氣分離裝置：可有效減少水氣，降低廠務端酸排管腐蝕， 堵塞問題。
加藥裝置：利用酸鹼中和反應，加強水洗效果。(Option)
Application:應用於太陽能電池、半導體行業，主要用於PECVD、刻蝕機等的尾氣處理
Advantages:
採用電熱燃燒方式，有毒氣體等與空氣燃燒反應生成無毒的物質及易溶於水的物質，排放物為無毒無害的氣體
處理能力：100LPM~3000LPM
多孔性材質陶瓷隔熱材：減少反應腔體熱量損失，加強腔體抗腐蝕。
水氣分離裝置：可有效減少水氣，降低廠務端酸排管腐蝕， 堵塞問題。
加藥裝置：利用酸鹼中和反應，加強水洗效果。(Option)