目的:
基於環保意識抬頭，針對處理特殊排氣，如以local scrubber作尾氣處理，再由center scrubber作處理，但處理後常有一些白煙的產生，這些白煙主要是次微米粒徑(0.1-2um)之氣膠，針對此問題增設靜電式處理設備。

原理:
靜電集塵區構造由兩個極性相反之電極組成。其中一為線狀電極即為放電極，另一為板狀電極即為集塵極，放電極連接電源負極，而集塵極則接電源正極，因此，兩電極間遂形成一電場，存在空氣中離子在電場作用下，同兩極移動形成電流。

In the semi-conductor Si-related processes,there is silicone-contain reactant involved into these processes. The exhaust of such process is treated with burn-type local scrubbers and then tiny white oxide powder is being generated after local scrubbers that is ejected by exhaust duct resulted in blockage inside exhaust ductwork as well as a shortage of static pressure inside duct.Besides, there is some powder travelling to central scrubbers system by means of exhaust duct that will cause unbalanced on fans lead to apparent equipment vibration. Meanwhile,

powder goes into central scrubbers which result in clog of rasching rings and lead to insufficient for air washing specific contact surface area.This will reduce elimination efficiency of central scrubbers. Therefore,factory is equipped with Electrostatic Precipitator Expectation just next to powder sources to eliminate the probability of powder going into exhaust duct and central scrubbers. That will reduce clean-up frequency of exhaust duct inside and central scrubbers as well as decrease in white smoke phenomenon of exhaust system.

半導體製造工業是一種技術密集、資本密集的產業，也是十分重視工安與環保的行業，尤其是處理特殊排氣是以洗滌塔(local scrubber)作尾氣處理，再由中央洗滌塔(center scrubber)作處理，處理後常有一些白煙的產生，這些白煙主要是次微米粒徑(0.1-2um)之氣膠，工廠針對此問題增設靜電式氣膠處理設備（Electrostatic Precipitator Expectation），靜電集塵區構造由兩個極性相反之電極組成。其中一為線狀電極即為放電極，另一為板狀電極即為集塵極，放電極連接電源負極，而集塵極則接電源正極，因此，兩電極間遂形成一電場，存在空氣中離子在電場作用下，同兩極移動形成電流。當電壓增加時電流可分成三個不同階段(I-II-III) ，大量電子由放電極周圍不斷逸出。當極線和極板上的粒狀污染物聚積過多時便會影響電場性質而使收集效率降低，故須定時清除這些聚集的粒狀物，利用水連續沖洗極板而間歇性的沖洗極線與其內部。若污染物具有黏滯性，則先用蒸汽加熱各表面聚集的粒狀物，再用水大量沖洗，被沖下的污染物送到廢水處理設備。靜電式氣膠處理設備主要為去除次微米粒徑(0.1-2um)之氣膠及有害空氣汙染物(HAPs)，靜電式氣膠處理設備的效率次微米粒徑

(0.1-2um)可以達到95%以上，不透光率5-10%以下。我們以此方法來降低製程排氣中所產生粉末，靜電式氣膠處理設備(EP)是安裝在除害裝置(local scrubber)的後方作微粒的處理。

在半導體廠製程中含有矽(Si)；製程過程中會有含矽(Si)的反應物，製程的廢氣會經過燃燒器(Burn local scrubber)處理，處理後會產生細小白色氧化物(SiO2)，白色的粉末經由排氣系統的管路容易造成管路的阻塞，造成排氣靜壓不足。有一些粉末會經由排氣管路至中央洗滌塔，造成排氣風車的不平衡引起風車振動，粉末進入洗滌塔內會造成拉西環阻塞造成水洗的比表面積不足，容易造成中央洗滌塔的效率降低，所以增設靜電式氣膠處理設備（Electrostatic Precipitator Expectation）由粉末的發生源設置集塵處理設備，把大份的粉末處理下來降低後段的管路與中央洗滌塔阻塞的機會，減少清理管路與清洗中央洗滌塔的次數，同時可以減少排氣系統的白煙現象。

 

靜電式氣膠處理設備設計原理說明:

靜電集塵器應用電荷異性相吸之原理，讓微粒帶電來收集微粒；而要使粒子帶電可藉由不同之機制來進行。

在靜電集塵器之放電電極與收集電極間具有10~100 千伏特之電位差(通常維持在40~60 千伏間)使氣體離子化。在此離子化區域內，具有非常大量之正、負離子，引起發光或電暈(corona)。高電壓使不導電之氣體分子經由分解或電子附著而成自由離子，然後離子移動開始導電。離子化時間約在0.01 秒之下，一般在電暈區域內，每立方公分約可形成10 之八次方個負離子。當氣流通過電極間之區域時，粒子即經由離子撞擊帶電而移向具相反電性之收集電極。換言之，收集機制之第一步驟為氣體離子化，第二步驟為使氣流中之粒子帶電。收集電極附近氣體之部分電力中斷造成可見藍光之放電現象稱為電暈或電暈發光。電暈電壓外若再加大電壓將導致電極間藉由閃火形式(spark)發生之無限電流傳遞。經由電場方面考量，最佳之

閃火率為100 sparks/minute 或1 spark/minute 以下，視系統而定。分離帶電粒子之電力與粒子帶電量和收集電場強度之積成正比。此電力之大小，就比重為1 之1 微米粒子而言，為重力之3000 倍；就比重為1之10 微米粒子而言，為重力之300 倍， 此為設計高效率靜電集塵器之主要原因。

Advantage

•         Over 95% Removal Efficiency Dust & Mist

•         Over 95% Removal Efficiency of HF

•         Customized design

•         Easy installation & Maintenance

•         Extremely Low CoO

•         Prevention of Duct Corrosion

Performance

•         Removal Efficiency(Reference only):        

•         Cl2      97%       

•         F Compounds     93%       

•         BCl3   97%       

•         Odor   Over 80%      

•         HF      98%       

•         Dust    95%